PEEK注塑半导体硅片座
2026-04-25 12:19:01
本产品采用高性能PEEK材料精密加工而成，专用于半导体制造中硅片的承载与定位。PEEK硅片座具备优异的耐高温与耐化学腐蚀性能，能稳定工作在刻蚀、沉积、清洗等严苛工艺环境中。材料自身低释气、低粒子产生，满足高洁净度生产要求，避免污染晶圆表面。同时，制品具有良好的尺寸稳定性和机械强度，长期使用不易变形，可确保硅片放置水平与位置重复精度。表面光滑且可设计防滑结构，方便自动或手动取放片。适用于各类单片刻蚀机、快速热处理设备及清洗槽，是提升良率、延长工装寿命的理想选择。
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